[实用新型]一种智能节能的半导体研磨装置

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体研磨装置技术领域，具体涉及一种智能节能的半导体研磨装置。

背景技术

在生产半导体的过程中，需要对半导体进行研磨抛光，目前的半导体研磨装置，使用的电能来源不清洁，清洁能源供应不充足和智能化程度低。

因此，发明一种智能节能的半导体研磨装置显得非常必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种智能节能的半导体研磨装置，以解决上述背景技术中提出目前的半导体研磨装置，使用的电能来源不清洁，清洁能源供应不充足和智能化程度低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种智能节能的半导体研磨装置,包括研磨装置本体、第一电动机、研磨液储存桶、第一电动伸缩杆、第一研磨石、研磨载料台、第三电动机、钢化玻璃窗、安全防护门、第二研磨石、折页、第二电动伸缩杆、轴承、第二电动机、注料漏斗、支撑柱、风能发电机、太阳能电池板、电气箱、第一频率控制器、第二频率控制器、第一变速控制器、第二变速控制器、第三变速控制器、滴定管和开关阀门，所述研磨装置本体的左上端与第一电动机固定连接；所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第一电动伸缩杆的伸缩杆端部与第一研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的右上端与第二电动机固定连接；所述第二电动机的转动端通过轴承与第二电动伸缩杆的气缸端固定连接；所述第二电动伸缩杆的伸缩杆端部与第二研磨石的中间固定连接；所述研磨装置本体的中上端与研磨液储存桶固定连接；所述研磨液储存桶的下端与滴定管的上端连接；所述研磨装置本体的内部下端与第三电动机固定连接；所述第三电动机的转动端通过轴承与研磨载料台中间固定连接；所述研磨装置本体的右端设置有安全防护门；所述安全防护门通过折页与研磨装置本体铰接；所述装置本体的右上端通过支撑柱与太阳能电池板固定连接；所述装置本体的左上端通过支撑柱与风能发电机固定连接；所述装置本体的下端与电气箱固定连接；所述电气箱的内部从左到右依次固定有第一频率控制器、第二频率控制器、第一变速控制器、第二变速控制器和第三变速控制器；所述第一频率控制器与第一电动伸缩杆电性连接；所述第二频率控制器与第二电动伸缩杆电性连接；所述第一变速控制器与第一电动机电性连接；所述第二变速控制器与第二电动机电性连接；所述第三变速控制器与第三电动机电性连接。

进一步，所述研磨液储存桶的上端设置有注料漏斗。

进一步，所述滴定管的上端设置有开关阀门。

进一步，所述安全防护门上设置有钢化玻璃窗。

进一步，所述支撑柱的下端通过连接法兰与研磨装置本体固定连接。

进一步，所述风能发电机采用的是家用W水平轴式风能发电机。

本实用新型的技术效果和优点：该智能节能的半导体研磨装置，通过设置风能发电机和太阳能电池板同时给装置提供清洁的电能，使得节能环保，并且能够保证清洁能源的充分供应；通过设置第一频率控制器控制第一电动伸缩杆，使得第一电动伸缩杆有频率的定时伸缩，并带动第一研磨石伸到半导体上，第二频率控制器控制第二电动伸缩杆有频率的定时伸缩，并带动第二研磨石伸到半导体上；通过设置第一变速控制器控制第一电动机的转动速度，第二变速控制器控制第二电动机的转动速度，第三变速控制器控制第三电动机的转动速度，使得装置的自动化程度高，可以通过调节相应电动机的转速，来提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1-装置本体；2-第一电动机；3-研磨液储存桶；4-第一电动伸缩杆；5-第一研磨石；6-研磨载料台；7-第三电动机；8-钢化玻璃窗；9-安全防护门；10-第二研磨石；11-折页；12-第二电动伸缩杆；13-轴承；14-第二电动机；15-注料漏斗；16-支撑柱；17-风能发电机；18-太阳能电池板；19-电气箱；20-第一频率控制器；21-第二频率控制器；22-第一变速控制器；23-第二变速控制器；24-第三变速控制器；25-滴定管；26-开关阀门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。