[实用新型]一种提高直拉单晶硅轴向电阻率均匀性的装置有效
| 申请号： | 201621029038.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN206109595U | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 王军磊;尚伟泽;刘伟;武志军;刘学 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010070 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高直拉单晶硅轴向电阻率均匀性的装置，其包括掺杂剂容器、质量流量计、电磁阀和输送管，所述掺杂剂容器的顶部设有掺杂剂装入口，所述掺杂剂容器的底部设有掺杂剂出口，所述掺杂剂装入口上设有与所述掺杂剂装入口相配合的密封盖；所述掺杂剂容器的下方设有所述输送管，所述输送管的上端进口与所述掺杂剂出口连接，所述输送管的下端连接有尖嘴出口；所述输送管上设有所述质量流量计和所述电磁阀，所述质量流量计与所述电磁阀电连接。本实用新型的优点(1)改变了直拉工艺中常规的掺杂方式，提高单晶硅中轴向掺杂元素的均匀性，进而提高轴向电阻率的均匀性；(2)本实用新型装置结构简单、便于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 单晶硅 轴向 电阻率 均匀 装置 | ||
【主权项】：
一种提高直拉单晶硅轴向电阻率均匀性的装置，其特征在于，其包括：掺杂剂容器、质量流量计、电磁阀和输送管，所述掺杂剂容器的顶部设有掺杂剂装入口，所述掺杂剂容器的底部设有掺杂剂出口，所述掺杂剂装入口上设有与所述掺杂剂装入口相配合的密封盖；所述掺杂剂容器的下方设有所述输送管，所述输送管的上端进口与所述掺杂剂出口连接，所述输送管的下端连接有尖嘴出口；所述输送管上设有所述质量流量计和所述电磁阀，所述质量流量计与所述电磁阀电连接。
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