[实用新型]一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置

摘要

本实用新型属于纳米结构薄膜材料制备技术领域，涉及一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置；包括具有反应腔室的沉积系统、自制水冷系统、自制风冷系统、电极控制系统和气体控制系统；自制水冷系统由铜管、冷却循环水机和冷却水管组成；自制风冷系统由风冷隔绝气罩和风冷机组成；电极控制系统由电阻丝加热板、两个不锈钢支撑架和两个符合条件的绝缘云母片组成；电极控制系统由电阻丝加热板、两个不锈钢支撑架和两个绝缘云母片组成；气体控制系统由气体质量流量计、依次排列的氢气发生器、氩气气瓶、甲烷气瓶、氢气气瓶组成；本实用新型安置符合条件的电阻丝加热板、不锈钢支撑架及绝缘隔绝原件，减小了原有装置对温度的限制。

主权项

一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置，包括具有反应腔室的沉积系统，其特征在于：还包括自制水冷系统、自制风冷系统、电极控制系统和气体控制系统；所述自制水冷系统主要由铜管、冷却循环水机和冷却水管组成；所述铜管“一字型”横向排列、“U”形回旋、并且紧密贴合在沉积系统的反应腔室外侧，所述冷却循环水机连接冷却水管，将冷却循环水机制冷生成的冷却水循环流通于所述铜管中；所述自制风冷系统主要由风冷隔绝气罩和风冷机组成；所述风冷隔绝气罩设置在沉积系统的反应腔室外部，所述风冷机生成的冷气通过气管循环流通于风冷隔绝气罩之内；所述电极控制系统主要由电阻丝加热板、两个不锈钢支撑架和两个绝缘云母片组成；所述两个不锈钢支撑架设置于沉积系统的反应腔室内部，两个绝缘云母片平铺于不锈钢支撑架上侧，电阻丝加热板设置在两个绝缘云母片之上，电阻丝加热板的电源线正负极分别与电源正负极相连；所述气体控制系统主要由气体质量流量计、依次排列的氢气发生器、氩气气瓶、甲烷气瓶、氢气气瓶组成；所述氢气发生器、氩气气瓶、甲烷气瓶、氢气气瓶连接各自的气体质量流量计，通过调节控制沉积系统中气体质量流量计的操作面板上的开关、旋钮，控制气体流入以及流量大小。