[实用新型]一种CVD法制备石墨烯及纳米碳管真空气相沉积装置有效
| 申请号： | 201620631827.7 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN205874533U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/455;C23C16/52;C23C16/46;C23C16/458 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司22201 | 代理人： | 朱世林,张晶 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 法制 石墨 纳米 碳管真 空气 沉积 装置 | ||
【权利要求书】：
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