[实用新型]硅片辅助清洗装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片辅助清洗装置，它包括底座、底座下面托杆、两个连接臂和两个手柄，所述底座为由横杆和竖杆组成的矩形框架，所述横杆上部设有定位凹槽，所述竖杆下面设有两个孔，所述底座下面托杆通过竖杆连接在底座竖杆上面的孔位置，所述底座下面托杆为固定槽位组成的框架，所述两个连接臂分别竖直设于竖杆上部，所述两个手柄横向设于两个连接臂的外侧。本实用新型不仅可以避免橡胶手套与药液直接接触，使操作人员不与药液直接接触，保证了操作人员的人身安全；而且底部托杆由于可以将硅片从花篮里向上顶出一定距离，使得硅片在清洗过程中与花篮卡槽位置是分离的，整个硅片可以完全与化学液接触无死角，清洗效果会比硅片在花篮里面更加优异。

主权项

一种硅片辅助清洗装置，其特征在于：包括矩形底座、U型硅片托杆、两个连接臂和两个手持装置；所述U型硅片托杆固定在矩形底座短边的下部，所述连接臂分别竖直设于矩形底座短边上部，所述两个手持装置分别横向设于两个连接臂的外侧；所述U型硅片托杆共设有两根，且间距为40‑60mm；所述硅片托杆仅设有一根，且固定于矩形底座短边中点的正下方；所述硅片托杆设有硅片固定凹槽。