[实用新型]卡环结构件以及化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201620541927.0 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN205799210U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 严卫讯;唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卡环结构件以及化学机械研磨装置，所述卡环结构件，用于一研磨头上，包括：第一卡环，所述第一卡环上设置有多个沟槽以及多个第一孔，所述沟槽位于所述第一卡环的下表面，并贯穿所述第一卡环的内、外壁，每一所述沟槽的顶壁上设置有一个第一孔，所述第一孔连通所述沟槽；多个活塞；制动机构，所述制动机构控制所述活塞在所述沟槽和所述第一孔内上下运动。本实用新型提供的所述卡环结构件，将所述卡环结构件应用于化学机械研磨装置中，能够减少或去除CMP工艺中现有沟槽内的研磨副产物，从而提高研磨液和化学用品的利用率，改善晶圆表面外观，延长研磨垫的使用寿命，提高生产产能和节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 卡环 结构件 以及 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种卡环结构件，用于一研磨头上，其特征在于，包括：第一卡环，所述第一卡环上设置有多个沟槽以及多个第一孔，所述沟槽位于所述第一卡环的下表面，并贯穿所述第一卡环的内、外壁，每一所述沟槽的顶壁上设置有一个第一孔，所述第一孔连通所述沟槽；多个活塞；制动机构，所述制动机构控制所述活塞在所述沟槽和所述第一孔内上下运动。
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