[实用新型]卡环结构件以及化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201620541927.0 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN205799210U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 严卫讯;唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卡环 结构件 以及 化学 机械 研磨 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201620541927.0/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种保持环
- 下一篇：一种研球机的出水端防漏结构
