[实用新型]一种新型变温霍尔效应及半导体特性测试仪

摘要

一种新型变温霍尔效应及半导体特性测试仪，测试仪包括仪器控制主机、可变温变场样品台和循环散热水箱；可变温变场样品台包括滑轨、设置在滑轨上的磁铁以及固定在滑轨一侧的样品台，磁铁由镂空铝合金框架固定且通过下端的可旋转基座与滑轨连接，样品台包括PCB样品电路板、设置在电路板两侧的水冷模块和加热模块，所述电路板与水冷模块之间设有热电半导体。本测试仪用于提供磁场的铷铁硼强磁安放在变温变场样品台上，磁铁可以旋转提供不同方向的磁场，磁铁可以沿滑轨移动使磁场大小可变；又因为紧贴PCB样品电路板侧面设有热电半导体，可以制冷和制热，所以样品台的温度可以通过主机设定；此外，本测试仪结构简单，生产成本不高、便于推广。

主权项

一种新型变温霍尔效应及半导体特性测试仪，其特征在于：所述测试仪包括仪器控制主机、可变温变场样品台和循环散热水箱，所述仪器控制主机为12位DAC芯片配合高精度运放提供1nA－200mA的精密电流，低偏置电压运放配合滤波电路采集微弱霍尔信号；所述可变温变场样品台包括滑轨、设置在滑轨上的磁铁以及固定在滑轨一侧的样品台，所述磁铁由镂空铝合金框架固定且通过下端的可旋转基座与滑轨连接，所述样品台包括PCB样品电路板、设置在电路板两侧的水冷模块和加热模块，所述电路板与水冷模块之间设有热电半导体；所述仪器控制主机与可变温变场样品台之间通过导线连接，所述可变温变场样品台与循环散热水箱之间设有导管与循环水泵。