[实用新型]一种样品等离子处理专用电极外置装置

摘要

本实用新型涉及一种样品等离子处理专用电极外置装置，包括：真空舱体、阳极、连接装置、绝缘柱和阴极。所述真空舱体采用石英玻璃，真空舱体为圆柱形，内含样品材料和处理气体；所述阳极和阴极紧贴于真空舱体外表面，所述阳极和阴极的两侧端部，分别通过连接装置连接在所述绝缘柱上，安装在绝缘柱上的阳极和阴极组成一个和真空舱体同心的圆柱，使得电极更接近待处理的样品材料。当进行等离子处理时，真空舱体内部洁净度很高，因此能够对要求真空舱体高度洁净的样品材料进行等离子处理，同时，那些对金属有腐蚀性的样品材料也不会对真空舱体、阳极和阴极造成腐蚀。

主权项

一种样品等离子处理专用电极外置装置，其特征是：包括：真空舱体(1)、阳极(2)、连接装置(3)、绝缘柱(4)和阴极(5)；所述真空舱体(1)采用石英玻璃材质，真空舱体(1)为圆柱形，内含样品材料及处理气体；所述阳极(2)和阴极(5)紧贴于真空舱体(1)外表面，所述阳极(2)和阴极(5)的两侧末端相连后组成一个和真空舱体(1)同心的圆柱。