[实用新型]一种样品等离子处理专用电极外置装置有效
| 申请号： | 201620340323.X | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN205582880U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 郑亮 | 申请（专利权）人： | 郑亮 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 郎坚 |
| 地址： | 100088 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 样品 等离子 处理 专用 电极 外置 装置 | ||
【权利要求书】：
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