[实用新型]高精度大量程激光位移测量装置

摘要

一种高精度大量程激光位移测量装置，涉及一种位移测量装置，在激光发射装置的光路上设置第一分光棱镜，第一分光棱镜的分光光路A上设置第二分光棱镜，第二分光棱镜的分光光路C上设有光学谐振腔、第一光电接收装置；分光光路D上设置第一、二直角反射棱镜组，该反射棱镜组的一端与第一、二反射镜连接，另一端与驱动器连接，其反射光回到第二分光棱镜形成分光光路F，分光光路F上设有第三分光棱镜；分光光路B上设置第四分光棱镜，第四分光棱镜的分光光路E上设置直角反射镜，其反射光进入第三分光棱镜，第三分光棱镜的分光光路G上设置第二光电接收装置。本实用新型的测量精度高，量程大，可从nm级跨越至m级，还可大大提高系统的响应时间。

主权项

一种高精度大量程激光位移测量装置，其特征在于：包括激光发射装置（1）、第一分光棱镜（2）、第二分光棱镜（3）、第三分光棱镜（9）、第四分光棱镜（10）、第一反射镜（4）、第二反射镜（5）、第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）、第一光电接收装置（6）、第二光电接收装置（12）、驱动器（13）；其中：所述的激光发射装置（1）发射出的激光光路上设置第一分光棱镜（2），第一分光棱镜（2）的分光光路包括分光光路A、分光光路B；所述的分光光路A上设置第二分光棱镜（3），第二分光棱镜（3）的分光光路包括分光光路C、分光光路D；所述的分光光路C上设有光学谐振腔，该光学谐振腔由第一反射镜（4）、第二反射镜（5）构成；光学谐振腔之后设置有所述的第一光电接收装置（6）；第二分光棱镜（3）的分光光路D上设置有所述的第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8），第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）的一端与第一反射镜（4）、第二反射镜（5）固定连接，第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）的另一端与驱动器（13）连接，第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）的反射光回射到第二分光棱镜（3）形成分光光路F，第二分光棱镜（3）的分光光路F上设有所述的第三分光棱镜（9）；所述的第一分光棱镜（2）的分光光路B上设置第四分光棱镜（10），第四分光棱镜（10）的分光光路E上设置有直角反射镜（11），直角反射镜（11）的反射光进入第三分光棱镜（9），第三分光棱镜（9）的分光光路G上设有所述的第二光电接收装置（12）；所述的驱动器（13）包括驱动件（1301）、粘接游动块（1302）、补偿块（1303）、固定块（1304），所述的游动块（1302）和固定块（1304）分别粘接在驱动件（1301）的两端，固定块（1304）与补偿块（1303）粘接，补偿块（1303）与驱动件（1301）之间留有间隙，补偿块（1303）与游动块（1302）分别与第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）固定连接。