[实用新型]高精度大量程激光位移测量装置

权利要求书

1.一种高精度大量程激光位移测量装置，其特征在于：包括激光发射装置（1）、第一分光棱镜（2）、第二分光棱镜（3）、第三分光棱镜（9）、第四分光棱镜（10）、第一反射镜（4）、第二反射镜（5）、第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）、第一光电接收装置（6）、第二光电接收装置（12）、驱动器（13）；其中：

所述的激光发射装置（1）发射出的激光光路上设置第一分光棱镜（2），第一分光棱镜（2）的分光光路包括分光光路A、分光光路B；所述的分光光路A上设置第二分光棱镜（3），第二分光棱镜（3）的分光光路包括分光光路C、分光光路D；所述的分光光路C上设有光学谐振腔，该光学谐振腔由第一反射镜（4）、第二反射镜（5）构成；光学谐振腔之后设置有所述的第一光电接收装置（6）；第二分光棱镜（3）的分光光路D上设置有所述的第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8），第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）的一端与第一反射镜（4）、第二反射镜（5）固定连接，第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）的另一端与驱动器（13）连接，第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）的反射光回射到第二分光棱镜（3）形成分光光路F，第二分光棱镜（3）的分光光路F上设有所述的第三分光棱镜（9）；所述的第一分光棱镜（2）的分光光路B上设置第四分光棱镜（10），第四分光棱镜（10）的分光光路E上设置有直角反射镜（11），直角反射镜（11）的反射光进入第三分光棱镜（9），第三分光棱镜（9）的分光光路G上设有所述的第二光电接收装置（12）；所述的驱动器（13）包括驱动件（1301）、粘接游动块（1302）、补偿块（1303）、固定块（1304），所述的游动块（1302）和固定块（1304）分别粘接在驱动件（1301）的两端，固定块（1304）与补偿块（1303）粘接，补偿块（1303）与驱动件（1301）之间留有间隙，补偿块（1303）与游动块（1302）分别与第一直角反射棱镜组（7）、第二直角反射棱镜组（8）固定连接。

2.根据权利要求1所述的高精度大量程激光位移测量装置，其特征在于：所述的第一分光棱镜（2）包括直角棱镜Ⅰ（201）和直角棱镜Ⅱ（202），直角棱镜Ⅰ（201）和直角棱镜Ⅱ（202）的斜面粘合在一起；所述的第二分光棱镜（3）包括直角棱镜Ⅲ（301）和直角棱镜Ⅳ（302），直角棱镜Ⅲ（301）和直角棱镜Ⅳ（302）的斜面粘合在一起，且直角棱镜Ⅲ（301）和直角棱镜Ⅳ（302）相对的直角面平行。

3.根据权利要求2所述的高精度大量程激光位移测量装置，其特征在于：所述的直角棱镜Ⅲ（301）在其直角面处设有光吸收及漫反射层Ⅰ（304），直角棱镜Ⅳ（302）在直角面处设有光吸收及漫反射层Ⅱ（303）。

4.根据权利要求1所述的高精度大量程激光位移测量装置，其特征在于：所述的第一反射镜（4）在靠近第二反射镜（5）一侧镀履有反射膜；所述的第二反射镜（5）在靠近第一反射镜（4）一侧镀履有反射膜。

5.根据权利要求4所述的高精度大量程激光位移测量装置，其特征在于：所述的激光发射装置（1）的光谱宽度为λ₀～λ_n；所述的第一反射镜（4）在光谱宽度λ₀～λ_n的光束中对光谱宽度λ_i～λ_j的波长反射率为90～99%；所述的第二反射镜（5）在光谱宽度λ₀～λ_n的光束中对光谱宽度λ_i～λ_j的波长反射率为90～99%。

6.根据权利要求5所述的高精度大量程激光位移测量装置，其特征在于：所述的第一光电接收装置（6）用于对波长λ_i～λ_j光束的能量进行分析，并计算出第一反射镜（4）和第二反射镜（5）的距离；所述的第二光电接收装置，用于对不同波长λ₀～λ_n的光束能量进行分析，并分析出光能量最强的波长。