[实用新型]一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置有效
申请号: | 201620064667.2 | 申请日: | 2016-01-19 |
公开(公告)号: | CN205317628U | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 马铁英;李达波 | 申请(专利权)人: | 中国计量学院 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置包括:微米粒子捕获装置,微型气压传感装置,PM2.5浓度显示装置,其微米粒子捕获装置包括U型气腔,石墨烯,抽气泵,U型气腔由倒棱台凹槽型硅片及通孔型硅片键合而成,倒棱台凹槽型硅片位于通孔型硅片的正下方,通孔型硅片有两个通孔,分别为左通孔及右通孔,石墨烯置于左通孔的正上方并覆盖其上,石墨烯上均匀分布微米量级的小孔,每个小孔在石墨烯的占空比为60%,抽气泵位于右通孔的正上方,微型气压传感装置包括气压传感器及外部显示器,气压传感器紧贴于抽气泵的右下方,位于U型气腔内,并与外部显示器连接,外部显示器贴合在倒棱台凹槽型硅片的背面,并与PM2.5浓度显示装置相连接,该装置自动化程度高。 | ||
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【主权项】:
一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置包括:微米粒子捕获装置,微型气压传感装置,PM2.5浓度显示装置,特征在于其微米粒子捕获装置,包括U型气腔,石墨烯,抽气泵,U型气腔由倒棱台凹槽型硅片及通孔型硅片键合而成,倒棱台凹槽型硅片位于通孔型硅片的正下方,通孔型硅片有两个通孔,分别为左通孔及右通孔,石墨烯置于左通孔的正上方并覆盖其上,石墨烯上均匀分布微米量级的小孔,每个小孔在石墨烯的占空比为60%,抽气泵位于右通孔的正上方,微型气压传感装置包括气压传感器及外部显示器,气压传感器紧贴于抽气泵的右下方,位于U型气腔内,并与外部显示器连接,外部显示器贴合在倒棱台凹槽型硅片的背面,PM2.5浓度显示装置与外部显示器相连接。
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