[实用新型]一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置有效

专利信息
申请号: 201620064667.2 申请日: 2016-01-19
公开(公告)号: CN205317628U 公开(公告)日: 2016-06-15
发明(设计)人: 马铁英;李达波 申请(专利权)人: 中国计量学院
主分类号: G01N15/06 分类号: G01N15/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置包括:微米粒子捕获装置,微型气压传感装置,PM2.5浓度显示装置,其微米粒子捕获装置包括U型气腔,石墨烯,抽气泵,U型气腔由倒棱台凹槽型硅片及通孔型硅片键合而成,倒棱台凹槽型硅片位于通孔型硅片的正下方,通孔型硅片有两个通孔,分别为左通孔及右通孔,石墨烯置于左通孔的正上方并覆盖其上,石墨烯上均匀分布微米量级的小孔,每个小孔在石墨烯的占空比为60%,抽气泵位于右通孔的正上方,微型气压传感装置包括气压传感器及外部显示器,气压传感器紧贴于抽气泵的右下方,位于U型气腔内,并与外部显示器连接,外部显示器贴合在倒棱台凹槽型硅片的背面,并与PM2.5浓度显示装置相连接,该装置自动化程度高。
搜索关键词: 一种 基于 微米 粒子 捕捉 pm2 浓度 检测 装置
【主权项】:
一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置包括:微米粒子捕获装置,微型气压传感装置,PM2.5浓度显示装置,特征在于其微米粒子捕获装置,包括U型气腔,石墨烯,抽气泵,U型气腔由倒棱台凹槽型硅片及通孔型硅片键合而成,倒棱台凹槽型硅片位于通孔型硅片的正下方,通孔型硅片有两个通孔,分别为左通孔及右通孔,石墨烯置于左通孔的正上方并覆盖其上,石墨烯上均匀分布微米量级的小孔,每个小孔在石墨烯的占空比为60%,抽气泵位于右通孔的正上方,微型气压传感装置包括气压传感器及外部显示器,气压传感器紧贴于抽气泵的右下方,位于U型气腔内,并与外部显示器连接,外部显示器贴合在倒棱台凹槽型硅片的背面,PM2.5浓度显示装置与外部显示器相连接。
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