[实用新型]一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置

权利要求书

1.一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置包括：微米粒子捕获装 置，微型气压传感装置，PM2.5浓度显示装置，特征在于其微米粒子捕获装置， 包括U型气腔，石墨烯，抽气泵，U型气腔由倒棱台凹槽型硅片及通孔型硅片键 合而成，倒棱台凹槽型硅片位于通孔型硅片的正下方，通孔型硅片有两个通孔， 分别为左通孔及右通孔，石墨烯置于左通孔的正上方并覆盖其上，石墨烯上均 匀分布微米量级的小孔，每个小孔在石墨烯的占空比为60％，抽气泵位于右通 孔的正上方，微型气压传感装置包括气压传感器及外部显示器，气压传感器紧 贴于抽气泵的右下方，位于U型气腔内，并与外部显示器连接，外部显示器贴 合在倒棱台凹槽型硅片的背面，PM2.5浓度显示装置与外部显示器相连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置， 其特征在于所述的倒棱台凹槽型硅片与通孔型硅片均为长方体，长度为2cm， 宽度为1cm，厚度为300μm。

3.根据权利要求1所述的一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置， 其特征在于所述的左通孔和右通孔的形状均为正方形，边长为3mm。

4.根据权利要求1所述的一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置， 其特征在于所述的石墨烯的直径大小为4.5mm。

5.根据权利要求1所述的一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装置， 其特征在于所述的小孔的孔径大小有7种，分别为0.07μm，0.12μm，0.19μm， 0.32μm，0.54μm，0.90μm，1.50μm。

6.根据权利要求1或5所述的一种基于微米粒子捕捉的PM2.5浓度检测装 置，其特征在于所述的小孔的孔径的个数按1∶2∶3∶4∶3∶2∶1的比例分布。