[发明专利]一种高温压电振动传感器有效
| 申请号： | 201611236683.6 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106768289B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 于法鹏;田世伟;马庆宇;张树君;李妍璐;程秀凤;段秀兰;陈菲菲;王正平;赵显 | 申请（专利权）人： | 山东大学;山东本源晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;H01L41/18;H01L41/047;H01L41/053 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨树云 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高温压电振动传感器，包括：底座；外壳，底座上连接外壳，形成压电振动传感器的密封内腔；固定在底座上的陶瓷棒；依次套放在陶瓷棒上的多片压电晶片、金属块、绝缘片、穿有高温引线的预紧件；两路电极线，放置在压电晶片之间；压电晶片为(XYw/45°)切YGdCOB晶片。(XYw/45°)切YGdCOB晶片的有效压电常数为～5pC/N，室温到1000℃范围，压电常数变化率低于5％，加工平整度误差小于0.02mm，具有特别优异的高温压电性能及温度稳定性，使得压电振动传感器耐高温高达600℃以上。 | ||
| 搜索关键词： | 压电振动传感器 底座 压电常数 压电晶片 陶瓷棒 晶片 多片压电晶片 温度稳定性 高温引线 连接外壳 密封内腔 压电性能 变化率 电极线 金属块 绝缘片 耐高温 平整度 预紧件 两路 加工 | ||
【主权项】：
1.一种高温压电振动传感器，包括：底座；外壳，所述底座上连接所述外壳，形成所述压电振动传感器的密封内腔；固定在所述底座上的陶瓷棒；依次套放在所述陶瓷棒上的多片压电晶片、金属块、绝缘片、穿有高温引线的预紧件；两路电极线，放置在压电晶片之间；其特征在于，所述压电晶片为(XYw/θ)切YGdCOB晶片,θ的取值范围为30°～50°,YGdCOB晶片的化学式为YxGd1‑xCa4O(BO3)3，x的取值范围为0.1～0.9。
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