[发明专利]一种高温压电振动传感器有效
申请号: | 201611236683.6 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN106768289B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 于法鹏;田世伟;马庆宇;张树君;李妍璐;程秀凤;段秀兰;陈菲菲;王正平;赵显 | 申请(专利权)人: | 山东大学;山东本源晶体科技有限公司 |
主分类号: | G01H11/08 | 分类号: | G01H11/08;H01L41/18;H01L41/047;H01L41/053 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 杨树云 |
地址: | 250199 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电振动传感器 底座 压电常数 压电晶片 陶瓷棒 晶片 多片压电晶片 温度稳定性 高温引线 连接外壳 密封内腔 压电性能 变化率 电极线 金属块 绝缘片 耐高温 平整度 预紧件 两路 加工 | ||
1.一种高温压电振动传感器,包括:
底座;
外壳,所述底座上连接所述外壳,形成所述压电振动传感器的密封内腔;
固定在所述底座上的陶瓷棒;
依次套放在所述陶瓷棒上的多片压电晶片、金属块、绝缘片、穿有高温引线的预紧件;
两路电极线,放置在压电晶片之间;
其特征在于,所述压电晶片为(XYw/θ)切YGdCOB晶片,θ的取值范围为30°~50°,YGdCOB晶片的化学式为YxGd1-xCa4O(BO3)3,x的取值范围为0.1~0.9。
2.根据权利要求1所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,θ=45°,x=0.3。
3.根据权利要求1所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,多片所述压电晶片成对套放在所述陶瓷棒上,相邻两片所述压电晶片电极方向相反。
4.根据权利要求1所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,所述电极线的材质为镍金属片或镀铂金的镍金属片,所述金属块的材质为蒸镀一层150-250nm厚的铂金的钨金属。
5.根据权利要求1所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,所述电极线包括电极带及电极环,所述电极带的两端为电极环,一路电极线的一端电极环设置在所述压电晶片与所述底座之间并套进所述陶瓷棒,一路电极线的另一端电极环设置在所述压电晶片与所述金属块之间并套进所述陶瓷棒;另一路电极线的一端电极环设置在两片压电晶片之间并套进所述陶瓷棒,另一路电极线的另一端电极环设置在所述绝缘片与所述预紧件之间并套进所述陶瓷棒。
6.根据权利要求1所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,所述外壳包括:外壳套管、外壳上盖、陶瓷螺栓,所述陶瓷螺栓匹配连接所述外壳上盖,所述外壳上盖匹配连接所述外壳套管,所述外壳套管连接所述底座,所述陶瓷螺栓中心带孔,通过该孔引出所述高温引线。
7.根据权利要求6所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,所述绝缘片与所述预紧件之间设有防松垫圈,防松垫圈包括通过锯齿槽咬合的上、下两个部分,上、下两个部分的端面设有锯齿槽,所述防松垫圈、所述陶瓷螺栓、所述陶瓷棒的材质均为纯度大于等于95%的氧化铝陶瓷。
8.根据权利要求6所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,所述高温引线和所述陶瓷螺栓的缝隙间,以及所述陶瓷棒和所述底座的缝隙间均填充有耐高温1500℃的无机胶。
9.根据权利要求1所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,所述高温引线底端设有圆形铂片,所述高温引线为铂金丝。
10.根据权利要求1-9任一所述的一种高温压电振动传感器,其特征在于,所述预紧件上端的中间设有与所述高温引线同等直径大小的孔。
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