[发明专利]振动板结构以及压电元件应用设备

摘要

本发明提供振动板结构以及压电元件应用设备。在由压电体层以及夹着该压电体层的一对电极构成的压电元件与基板之间设置的振动板具备设置于上述基板侧且由氧化硅膜构成的第一层、以及由杨氏模量比氧化硅的杨氏模量大的陶瓷构成的第二层，当在将上述第一层的杨氏模量设为E_v1、厚度设为d_v1、上述第二层的杨氏模量设为E_v2，厚度设为d_v2时的下式(1)E_v1×d_v1²+E_v2×d_v2²……(1)的值为恒定的条件下，将下式(2)E_v1×d_v1³+E_v2×d_v2³……(2)的值为最小值+2％以内的范围的d_v1以及d_v2的组合设为(D_v1，D_v2)的情况下，上述第一层的厚度为D_v1，上述第二层的厚度为D_v2。

主权项

一种振动板结构，其特征在于，被设置于由压电体层以及夹着该压电体层的一对电极构成的压电元件与基板之间的振动板具备：设置于所述基板侧且由氧化硅膜构成的第一层、以及由杨氏模量比氧化硅大的陶瓷构成的第二层，当将所述第一层的杨氏模量设为E_v1、厚度设为d_v1、所述第二层的杨氏模量设为E_v2、厚度设为d_v2时，在下式(1)E_v1×d_v1²+E_v2×d_v2²……(1)的值为恒定的条件下，将下式(2)E_v1×d_v1³+E_v2×d_v2³……(2)的值为最小值+2％以内的范围的d_v1以及d_v2的组合设为(D_v1，D_v2)，在此情况下，所述第一层的厚度为D_v1，所述第二层的厚度为D_v2。