[发明专利]振动板结构以及压电元件应用设备

权利要求书

1.一种振动板结构，其特征在于，

被设置于由压电体层以及夹着该压电体层的一对电极构成的压电元件与基板之间的振动板具备：设置于所述基板侧且由氧化硅膜构成的第一层、以及由杨氏模量比氧化硅大的陶瓷构成的第二层，

当将所述第一层的杨氏模量设为E_v1、厚度设为d_v1、所述第二层的杨氏模量设为E_v2、厚度设为d_v2时，在下式(1)

E_v1×d_v1²+E_v2×d_v2²……(1)

的值为恒定的条件下，将下式(2)

E_v1×d_v1³+E_v2×d_v2³……(2)

的值为最小值+2％以内的范围的d_v1以及d_v2的组合设为(D_v1，D_v2)，在此情况下，所述第一层的厚度为D_v1，所述第二层的厚度为D_v2。

2.根据权利要求1所述的振动板结构，其特征在于，

所述第一层的厚度为200nm以上。

3.根据权利要求1所述的振动板结构，其特征在于，

构成所述第二层的陶瓷选自氧化锆、氧化铝、氮化硅以及碳化硅中的至少一种。

4.一种压电元件应用设备，其特征在于，

具备权利要求1至3中任一项所述的振动板结构，

在所述振动板上具备所述压电元件。