[发明专利]多台标准气体发生器控制系统和联用系统及方法有效
| 申请号： | 201611205493.8 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106807260B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 敖小强;韩占恒 | 申请（专利权）人： | 北京雪迪龙科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/00;B01F15/04;G05B19/042 |
| 代理公司： | 11446 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘国伟;武玉琴 |
| 地址： | 102206 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多台标准气体发生器控制系统和联用系统及方法。该控制系统，用于多台标准气体发生器联用的控制，每个标准气发生器安装有微控制单元；其中，一个微控制单元为主机，其余微控制单元为从机，主机连接所述从机；该联用系统和方法利用上述控制系统实现多台标准气发生器的联用。本发明将单一标准气发生器作为一独立模块，在不改变硬件结构基础上，可轻松实现任意多组混合气体的联用，方便可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 标准 气体 发生器 控制系统 联用 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多台标准气体发生器控制系统，用于多台标准气体发生器联用的控制，其特征在于，/n每个所述标准气发生器安装有微控制单元；/n其中，一个所述微控制单元为主机，其余所述微控制单元为从机，所述主机连接所述从机；/n所述主机根据输入的混合气体出口流量值、混合气体中各标准气的浓度值和各标准气口的接入标准气浓度值，计算各个稀释气口和标准气口的流量值；/n所述主机将所述稀释气口和标准气口的流量值发送给相应的从机；/n所述主机和从机控制相应的质量流量控制器。/n
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