[发明专利]多台标准气体发生器控制系统和联用系统及方法

权利要求书

1.一种多台标准气体发生器控制系统，用于多台标准气体发生器联用的控制，其特征在于，

每个所述标准气发生器安装有微控制单元；

其中，一个所述微控制单元为主机，其余所述微控制单元为从机，所述主机连接所述从机；

所述主机根据输入的混合气体出口流量值、混合气体中各标准气的浓度值和各标准气口的接入标准气浓度值，计算各个稀释气口和标准气口的流量值；

所述主机将所述稀释气口和标准气口的流量值发送给相应的从机；

所述主机和从机控制相应的质量流量控制器。

2.一种多台标准气体发生器联用系统，其特征在于，包括多台标准气体发生器和混合气体出口；

所述标准气发生器包括微控制单元、质量流量控制器、稀释气口和标准气口；

所述质量流量控制器包括气体入口和气体出口，所述质量流量控制器气体入口连接所述稀释气口和标准气口，所述质量流量控制器气体出口连接所述混合气体出口，所述微控制单元连接所述质量流量控制器；

其中，一个所述标准气体发生器的微控制单元为主机，其余所述微控制单元为从机，所述主机连接所述从机；

所述主机根据输入的混合气体出口流量值、混合气体中各标准气的浓度值和各标准气口的接入标准气浓度值，计算各个稀释气口和标准气口的流量值；

所述主机将所述稀释气口和标准气口的流量值发送给相应的从机；

所述主机和从机控制相应的质量流量控制器。

3.根据权利要求2所述的联用系统，其特征在于，所述主机通过有线形式或无线形式连接所述从机。

4.一种多台标准气体发生器的联用方法，其特征在于，包括步骤：

A、选择一个标准气体发生器的微控制单元作为主机，其余标准气体发生器的微控制单元作为从机；

B、所述主机检测是否已与所述从机建立连接；若未连接，则所述主机与所述从机建立连接；若已连接，则执行下一步；

C、输入混合气体出口流量值、混合气体中各标准气的浓度值和各标准气口的接入标准气浓度值；

D、所述主机根据输入的混合气体出口流量值、混合气体中各标准气的浓度值和各标准气口的接入标准气浓度值，计算出各个稀释气口和标准气口的流量值；

E、所述主机将所述稀释气口和标准气口的流量值发送给相应的从机；

F、所述主机和从机控制相应的质量流量控制器，使相应稀释气口和标准气口的气体流量分别达到所述稀释气口和标准气口的流量值。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤C中，在所述主机输入混合气体出口流量值、混合气体中各标准气的浓度值和各标准气口的接入标准气浓度值。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤C中，在所述主机输入混合气体出口流量值、主机对应的标准气在混合气体中的浓度值和所述主机对应的标准气口的接入标准气浓度值，在所述从机输入从机对应的标准气在混合气体中的浓度值和所述从机对应的标准气口的接入标准气浓度值。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述主机通过有线形式连接所述从机。

8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述主机通过无线形式连接所述从机。

9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述步骤A之前包括步骤：在标准气发生器的稀释气口和标准气口分别接入稀释气和标准气。

10.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述步骤B之前包括步骤：在所述主机上设置连接从机的数量。