[发明专利]传感器用基板及物理量检测传感器

摘要

本发明提供传感器用基板及物理量检测传感器，物理量检测传感器的耐冲击性及可靠性优异。传感器用基板的特征在于，具有：基底部；可动部，其与基底部连接；作为支承部的臂部，其在从可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从基底部起沿着可动部而延伸；第一间隙部，其具有在所述俯视时，可动部与臂部中的任意一方朝向另一方突出的突出部，并且在其中一个突出部与另一方之间具有预定的间隔；第二间隙部，其在所述俯视时，位于比第一间隙部靠基底部侧处，并具有与预定的间隔相比较宽的间隔，在第一间隙部中，在与臂部的延伸方向垂直的剖视时，可动部以及臂部中的任意一方在面对第一间隙部的一侧具有凸条部。