[发明专利]传感器用基板及物理量检测传感器

权利要求书

1.一种传感器用基板，其特征在于，

所述传感器用基板具有：

基底部；

可动部，其与所述基底部连接；

支承部，其在从所述可动部的厚度方向进行观察的俯视时，从所述基底部起沿着所述可动部而延伸；

第一间隙部，其具有在所述俯视时，所述可动部与所述支承部中的任意一方朝向另一方突出的突出部，并且在一个所述突出部与所述另一方之间具有预定的间隔；

第二间隙部，其在所述俯视时，位于比所述第一间隙部靠所述基底部侧处，并具有与所述预定的间隔相比较宽的间隔，

在所述第一间隙部中，在与所述支承部的延伸方向垂直的剖视时，所述突出部在面对所述第一间隙部的一侧具有凸条部。

2.如权利要求1所述的传感器用基板，其特征在于，

所述支承部在所述俯视时，被配置在隔着所述可动部的两侧，

所述第一间隙部以及所述第二间隙部分别被配置在隔着所述可动部的两侧，

各个所述突出部在所述俯视时向同一方向突出。

3.如权利要求1或2所述的传感器用基板，其特征在于，

所述凸条部被设置在所述突出部的截面的大致中央处。

4.如权利要求1所述的传感器用基板，其特征在于，

所述凸条部在所述俯视时，呈宽度从所述可动部或所述支承部的基端部侧朝向顶端部侧而变窄的梯形形状。

5.如权利要求1所述的传感器用基板，其特征在于，

使用通过Z切割而被切出的水晶Z切割板。

6.如权利要求5所述的传感器用基板，其特征在于，

所述突出部向所述水晶Z切割板的+X晶轴方向突出。

7.如权利要求1所述的传感器用基板，其特征在于，

第二间隙长度长于第一间隙长度，其中，所述第一间隙长度为所述第一间隙部的在与间隙宽度方向交叉的方向上的长度，所述第二间隙长度为所述第二间隙部的在与间隙宽度方向交叉的方向上的长度。

8.一种物理量检测传感器，其特征在于，具备：

权利要求1至7中任一项所述的传感器用基板；

物理量检测元件，其一端部被固定在所述基底部上，另一端部被固定在所述可动部上。

9.一种加速度传感器，其特征在于，

具备权利要求8所述的物理量检测传感器，并通过该物理量检测传感器而对加速度进行测量。

10.一种电子设备，其特征在于，

搭载有权利要求8所述的物理量检测传感器。

11.一种移动体，其特征在于，

搭载有权利要求8所述的物理量检测传感器。