[发明专利]垂直式探针卡之探针装置有效
| 申请号： | 201611192156.X | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN107783024B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李文聪;谢开杰 | 申请（专利权）人： | 中华精测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种垂直式探针卡之探针装置，包含：一导板组合以及至少一探针组，所述导板组合包含：一第一导板、一第二导板，以及一中间导板，位在所述第一导板与所述第二导板之间。每一所述至少一探针组具有一第一探针、一第二探针以及至少一电性连接件，所述至少一电性连接件连接所述第一探针以及所述第二探针。所述至少一探针组用于分别通过所述至少一上开孔、所述至少一中间开孔和所述至少一下开孔，藉由所述至少一探针组电性接触一待测组件之至少一接触垫并且所述至少一接触垫与所述至少一电性探针组相互抵靠，使所述至少一探针组于一纵向产生变形。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，包含：一导板组合，包含：一第一导板，具有至少一垂直贯通的上开孔；一第二导板，具有至少一垂直贯通的下开孔，且所述至少一下开孔与所述至少一上开孔对应设置；以及一中间导板，位在所述第一导板与所述第二导板之间，具有至少一垂直贯通的中间开孔；以及至少一探针组，每一所述至少一探针组具有一第一探针、一第二探针以及至少一电性连接件，所述至少一电性连接件连接所述第一探针以及所述第二探针，所述至少一探针组插设在所述导板组合且通过所述至少一上开孔、所述至少一中间开孔、和所述至少一下开孔，藉由所述至少一探针组电性接触一待测组件之至少一接触垫并且所述至少一接触垫与所述至少一探针组互相抵靠，以使所述至少一探针组于一纵向产生变形，所述纵向垂直所述待测组件之至少一接触垫的平面。
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