[发明专利]垂直式探针卡之探针装置

权利要求书

1.一种垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，包含：

一导板组合，包含：

一第一导板，具有至少一垂直贯通的上开孔；

一第二导板，具有至少一垂直贯通的下开孔，且所述至少一下开孔与所述至少一上开孔对应设置；以及

一中间导板，位在所述第一导板与所述第二导板之间，具有至少一垂直贯通的中间开孔；以及

至少一探针组，每一所述至少一探针组具有一第一探针、一第二探针以及至少一电性连接件，所述至少一电性连接件连接所述第一探针以及所述第二探针，所述至少一探针组插设在所述导板组合且通过所述至少一上开孔、所述至少一中间开孔、和所述至少一下开孔，藉由所述至少一探针组电性接触一待测组件之至少一接触垫并且所述至少一接触垫与所述至少一探针组互相抵靠，以使所述至少一探针组于一纵向产生变形，所述纵向垂直所述待测组件之至少一接触垫的平面，以及其中所述至少一探针组的所述第二探针能够沿着所述纵向进行直上和直下的运动。

2.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述至少一下开孔的中心线位置相对至少一上开孔和所述至少一中间开孔的中心线位置向侧边偏移一横向距离，所述至少一接触垫抵靠所述至少一探针组时使所述至少一电性连接件变形，以改变所述至少一探针组在纵向上的长度。

3.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述至少一上开孔、所述至少一下开孔、和所述至少一中间开孔内仅允许插设单一个探针。

4.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述至少一探针组抵靠所述至少一接触垫之顶部包含平面、圆头形、尖头形或爪形。

5.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述电性连接件的纵向长度与所述电性连接件的横向长度的比例介于3:1至1:1。

6.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述电性连接件的纵向长度与所述电性连接件的横向长度的比例为2:1至1:1。

7.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述导板组合还包含一间隔组件，设置在所述第一导板与所述中间导板之间以及所述中间导板与所述第二导板之间，用于固定所述第一导板与所述中间导板以及所述中间导板与所述第二导板，并分别将所述第一导板、所述中间导板和所述第二导板之间保持相距一纵向距离，进而在所述导板组合的内部形成一布针空间。

8.根据权利要求7所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述第一导板还包括至少一固定开孔，用于对准设置在所述中间导板上的至少一固定组件，所述至少一固定组件用于固定所述中间导板以及所述间隔组件。

9.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述第一探针穿设于所述第一导板，所述第二探针穿设于所述中间导板以及所述第二导板之间，所述第一探针在所述中间导板以及所述第一导板之间的部分还具有一绝缘层。

10.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述第一探针、所述第二探针以及所述至少一电性连接件是一体成形。

11.根据权利要求1所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述第一探针、所述第二探针以及所述至少一电性连接件是由一导电金属外层披覆一结构金属组成。

12.根据权利要求11所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述导电金属以及所述结构金属接触的地方具有金属错化物。

13.根据权利要求11所述之垂直式探针卡之探针装置，其特征在于，所述导电金属以及所述结构金属需经过一退火程序。