[发明专利]薄膜热电偶及含有其的温度传感器件有效
| 申请号： | 201611179924.8 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106595894B | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王慷慨;熊玉明 | 申请（专利权）人： | 美的集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/04 | 分类号： | G01K7/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 528311 广东省佛山市顺德区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了薄膜热电偶及含有其的温度传感器件，该薄膜热电偶包括：基板，第一电极，所述第一电极设置在所述基板上，且含有二氧化锡；第二电极，所述第二电极设置在所述基板上，与所述第一电极具有至少一个接触点，且含有掺杂二氧化锡。该薄膜热电偶采用二氧化锡材料成本大大降低，且热稳定性好，制备工艺简单，耗时短，可靠性好，灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 热电偶 含有 温度传感器 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜热电偶，其特征在于，包括：基板，第一电极，所述第一电极设置在所述基板上，且由二氧化锡形成；第二电极，所述第二电极设置在所述基板上，与所述第一电极具有至少一个接触点，且由掺杂二氧化锡形成；所述第二电极中的掺杂元素包括锑、氟、铌、钽中的至少一种。
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