[发明专利]制备透射电镜样品的方法在审
| 申请号： | 201611170475.0 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN106596225A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 高慧敏;张顺勇;汤光敏;卢勤 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备透射电镜样品的方法，包括提供待观测芯片，所述待观测芯片包含一待观测区域；对所述待观测芯片的正面和/或背面进行减薄，得到初样；将一空心环固定在所述初样正面，所述待观测区域位于所述空心环内；通过干法刻蚀对所述初样进行减薄，得到透射电镜样品。在本发明提供的制备透射电镜样品的方法中，将一空心环固定在减薄处理后的初样上，通过空心环来确定待观测区域，再通过干法刻蚀所述减薄后的初样，从而制备成适合透射电镜观测的样品，形成超大面积的观测区域，满足相关案例需求，填补失效分析技术空白，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 透射 样品 方法 | ||
【主权项】：
一种制备透射电镜样品的方法，其特征在于，所述制备透射电镜样品的方法包括：提供待观测芯片，所述待观测芯片包含一待观测区域；对所述待观测芯片的正面和/或背面进行减薄，得到初样；将一空心环固定在所述初样正面，所述待观测区域位于所述空心环内；通过干法刻蚀对所述初样进行减薄，得到透射电镜样品。
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