[发明专利]一种基于纳米颗粒的光伏电池表面陷光结构的制造工艺

摘要

本发明公开了一种基于纳米颗粒的光伏电池表面陷光结构的制造工艺，包括如下步骤1)采用二氧化硅制作自组装掩模版，并将正酸乙酯和乙醇溶液混合，在自组装掩模版制作出二氧化硅纳米颗粒自组装掩模版；2)二氧化硅纳米颗粒自组装掩模版，对已经扩散好PN的硅片进行刻蚀，再在硅片的表面进行陷光结构的刻蚀，以制作硅微米柱阵列。本发明降低了反应离子刻蚀法的成本，并通过混合酸溶液的修饰大量减少了刻蚀后缺陷，使得硅柱既能成为良好的陷光结构，又不会使表面刻蚀缺陷激增，从而降低的光伏电池的反射率，增加了电池的光生电流。

主权项

一种基于纳米颗粒的光伏电池表面陷光结构的制造工艺，其特征在于，包括如下步骤：1)采用二氧化硅制作自组装掩模版，并将正酸乙酯和乙醇溶液混合，在自组装掩模版制作出二氧化硅纳米颗粒自组装掩模版；2)二氧化硅纳米颗粒自组装掩模版，对已经扩散好PN的硅片进行刻蚀，再在硅片的表面进行陷光结构的刻蚀，以制作硅微米柱阵列。