[发明专利]单行载流子光电二极管的收集区结构有效
申请号: | 201611152276.7 | 申请日: | 2016-12-14 |
公开(公告)号: | CN106409940B | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 张戎;姚辰;符张龙;曹俊诚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/109 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种单行载流子光电二极管的收集区结构,所述收集区结构包括掺杂区和非掺杂区,其中,所述掺杂区靠近吸收区一侧。通过本发明提供的单行载流子光电二极管的收集区结构,解决了现有单行载流子光电二极管因空间电荷效应饱和电流较小的问题,进一步提升了单行载流子光电二极管的饱和电流。 | ||
搜索关键词: | 单行 载流子 光电二极管 收集 结构 | ||
【主权项】:
一种单行载流子光电二极管的收集区结构,其特征在于,所述收集区结构包括掺杂区和非掺杂区,所述掺杂区靠近吸收区一侧,所述掺杂区的掺杂浓度其中,d为掺杂区的掺杂浓度,最小掺杂浓度D=1×1016/cm3,LC为收集区的长度,LD为掺杂区的长度。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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