[发明专利]滚轮装置及使用该滚轮装置的太阳能电池生产设备在审
申请号: | 201611151195.5 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN106653666A | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 谭兴波;朱海剑;庄正军 | 申请(专利权)人: | 常州比太科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 史明罡 |
地址: | 213164 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池加工装置技术领域,尤其是涉及一种滚轮装置及使用该滚轮装置的太阳能电池生产设备。所述的滚轮装置,包括锁紧组件、转轴和滚轮;锁紧组件具有供转轴穿过的孔,转轴贯穿于孔中,且转轴的端部伸入到滚轮的内部,锁紧组件将滚轮与转轴固定连接在一起;滚轮的内部设置有绝缘层,绝缘层位于滚轮的内表面与转轴的外表面之间;滚轮与锁紧组件之间设置有绝缘隔垫。本发明提供的滚轮装置,能够在有离子轰击、腐蚀、高温的环境中运行,且能够同时保证滚轮与转轴间的锁紧固定,以及转轴与滚轮间的绝缘。本发明提供的太阳能电池生产设备,使用了所述的滚轮装置,能够保证生产顺利进行,并使得产品达到工艺要求。 | ||
搜索关键词: | 滚轮 装置 使用 太阳能电池 生产 设备 | ||
【主权项】:
一种滚轮装置,其特征在于:包括锁紧组件、转轴和滚轮;所述锁紧组件具有供所述转轴穿过的孔,所述转轴贯穿于所述孔中,且所述转轴的端部伸入到所述滚轮的内部,所述锁紧组件将所述滚轮与所述转轴固定连接在一起;所述滚轮的内部设置有绝缘层,所述绝缘层位于所述滚轮的内表面与所述转轴的外表面之间;所述滚轮与所述锁紧组件之间设置有绝缘隔垫。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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