[发明专利]基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法

摘要

基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法，涉及光学精密测量技术领域，为了解决现有测量大口径高曲率光学元件的方法检测难度大、测量速度慢、误差大的问题。激光器发出的激光经依次经过准直镜、光阑、二向色镜和物镜，物镜将激光聚焦至待测样品，待测样品表面激发出的荧光依次经物镜、二向色镜、滤光片转换器、汇聚透镜和针孔，最终入射至光电探测器。本发明适用于测量大口径高曲率光学元件及微结构光学元件。

主权项

基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置，其特征在于，包括共焦显微系统和二维气浮运动平台(7)；所述共焦显微系统包括照明系统和探测系统；所述照明系统包括激光器(1)、准直镜(2)、光阑(3)、二向色镜(4)和物镜(5)；所述激光器(1)发出的激光经所述准直镜(2)后形成平行光，所述平行光经所述光阑(3)入射至所述二向色镜(4)，二向色镜(4)将激光反射至所述物镜(5)，物镜(5)将激光聚焦至待测样品(6)，所述待测样品(6)置于所述二维气浮运动平台(7)上；待测样品(6)的表面镀有有机荧光膜；照明系统和所述探测系统共用物镜(5)和二向色镜(4)；所述探测系统包括物镜(5)、二向色镜(4)、滤光片转换器(8)、汇聚透镜(9)、针孔(10)和光电探测器(11)；待测样品(6)表面激发出的荧光经物镜(5)透射至二向色镜(4)，二向色镜(4)透射的荧光依次经所述滤光片转换器(8)、汇聚透镜(9)和针孔(10)入射至所述光电探测器(11)。