[发明专利]基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法在审
| 申请号： | 201611129169.2 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106403843A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;王宇航;谷康;牛斌;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 显微 技术 口径 曲率 光学 元件 轮廓 扫描 测量 装置 方法 | ||
【说明书】：
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