[发明专利]微机电探针及其制造方法以及探针组结构

摘要

本发明涉及一种微机电探针，探针的制造方法为先利用微机电制程成型，再通过切削加工在一针尖部形成一切削面，探针具有一上表面、一身部以及实质上自身部朝一点触方向延伸的针尖部，针尖部具有第一、二侧面以及一实质上朝向点触方向的点触端，切削面于上表面呈下倾状、与第一、二侧面及点触端邻接，且具有由切削加工所形成的至少一切痕，切痕实质上自第一侧面延伸至第二侧面且非平行于点触方向，且切削面自一边缘切痕下倾至点触端；由此，点触端面积小，因此探针针痕小、易划破待测物的钝化层，且影像辨识度高。

主权项

一种微机电探针，具有一上表面、一身部以及一实质上自所述身部朝一点触方向延伸的针尖部，所述针尖部具有一第一侧面、一第二侧面以及一实质上朝向所述点触方向的点触端，所述微机电探针用于朝所述点触方向移动而以所述点触端点触一待测物；所述微机电探针的特征在于：所述针尖部具有一于所述上表面呈下倾状的切削面，所述切削面与所述第一侧面、所述第二侧面及所述点触端邻接且具有由切削加工所形成的至少一切痕，所述至少一切痕实质上自所述第一侧面延伸至所述第二侧面且非平行于所述点触方向，所述至少一切痕中包含有一形成所述切削面的一边缘的边缘切痕，所述切削面自所述边缘切痕下倾至所述点触端。