[发明专利]微机电探针及其制造方法以及探针组结构在审
申请号: | 201611113046.X | 申请日: | 2016-12-06 |
公开(公告)号: | CN106990271A | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 魏绍伦;许育祯;沈茂发;许志豪 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人: | 关畅,王燕秋 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微机 探针 及其 制造 方法 以及 结构 | ||
1.一种微机电探针,具有一上表面、一身部以及一实质上自所述身部朝一点触方向延伸的针尖部,所述针尖部具有一第一侧面、一第二侧面以及一实质上朝向所述点触方向的点触端,所述微机电探针用于朝所述点触方向移动而以所述点触端点触一待测物;所述微机电探针的特征在于:
所述针尖部具有一于所述上表面呈下倾状的切削面,所述切削面与所述第一侧面、所述第二侧面及所述点触端邻接且具有由切削加工所形成的至少一切痕,所述至少一切痕实质上自所述第一侧面延伸至所述第二侧面且非平行于所述点触方向,所述至少一切痕中包含有一形成所述切削面的一边缘的边缘切痕,所述切削面自所述边缘切痕下倾至所述点触端。
2.如权利要求1所述的微机电探针,其特征在于:所述切削面能定义出一最小长度及一下倾高度,所述最小长度为所述边缘切痕与所述点触端在与所述点触方向平行的方向上的最小距离,所述下倾高度为所述边缘切痕与所述点触端在与所述点触方向垂直的方向上的最小距离,所述最小长度大于或等于所述下倾高度的1.5倍。
3.如权利要求1所述的微机电探针,其特征在于:所述切削面实质上呈一平面,且所述切削面相对于所述点触方向倾斜一小于33度的角度。
4.如权利要求1所述的微机电探针,其特征在于:所述切削面实质上呈一平面、一曲面及多个曲面三者其中之一。
5.如权利要求1所述的微机电探针,其特征在于:所述至少一切痕实质上垂直于所述点触方向。
6.如权利要求1所述的微机电探针,其特征在于:所述至少一切痕相对于所述点触方向倾斜一角度。
7.如权利要求6所述的微机电探针,其特征在于:所述角度大于或等于45度且小于或等于75度。
8.一种探针组结构,其特征在于包含有至少二如权利要求1至7中任一项所述的微机电探针,各所述微机电探针的针尖部具有一实质上与所述切削面朝向相反方向的背面,所述二微机电探针的针尖部的背面为相面对。
9.一种微机电探针的制造方法,其特征在于包含有下列步骤:
a)利用微机电制程在一基板上制造出一针体,所述针体具有一朝向所述基板的下表面、一与所述下表面朝向相反方向的上表面、一身部以及一实质上自所述身部朝一点触方向延伸的针尖部,所述针尖部具有一第一侧面、一与所述第一侧面相对的第二侧面以及一实质上朝向所述点触方向的点触端;
b)利用一切削工具沿一非平行于所述点触方向的加工方向而自所述针体的针尖部的第一侧面切削至第二侧面,以在所述针尖部切削出一于所述上表面呈下倾状的切削面并同时缩减所述接触端的面积,所述切削面具有一由切削加工形成于其一边缘的边缘切痕,所述切削面自所述边缘切痕下倾至所述点触端。
10.如权利要求9所述的微机电探针的制造方法,其特征在于:所述步骤a)的微机电制程中形成一牺牲层,且所述针体受所述牺牲层固定于所述基板上,所述牺牲层在所述步骤b)之后去除而使得所述针体脱离所述基板。
11.如权利要求9所述的微机电探针的制造方法,其特征在于:所述步骤a)的微机电制程是在所述基板上制造出多个所述针体,各所述针体实质上以相同的姿态排列且其点触端沿所述加工方向排列;所述步骤b)中,所述切削工具在同一切削行程中切削过沿所述加工方向排列成一直线的多个所述针体。
12.如权利要求9所述的微机电探针的制造方法,其特征在于:所述切削工具为一球铣刀、一砂轮、一成型磨轮、一单刃铣刀及一多刃铣刀其中之一。
13.如权利要求9所述的微机电探针的制造方法,其特征在于:所述加工方向为实质上垂直于所述点触方向。
14.如权利要求9所述的微机电探针的制造方法,其特征在于:所述加工方向相对于所述点触方向倾斜一角度。
15.如权利要求14所述的微机电探针的制造方法,其特征在于:所述角度大于或等于45度且小于或等于75度。
16.如权利要求9所述的微机电探针的制造方法,其特征在于:所述切削面实质上呈一平面、一曲面及多个曲面三者其中之一。
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