[发明专利]一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法在审
申请号: | 201611103747.5 | 申请日: | 2016-12-05 |
公开(公告)号: | CN106735917A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 杜彦召 | 申请(专利权)人: | 广东富源科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/362 | 分类号: | B23K26/362;B23K26/12 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人: | 肖平安 |
地址: | 514000 广东省梅州市畲江*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明为一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法,在对蓝宝石片进行切割时,会通入辅助气体SF6,蓝宝石的主要成分为Al2O3,皮秒激光器对蓝宝石片进行切割时产生高温,此时SF6中的氟离子会与铝离子发生反应,因为一个SF6分子中含有6个氟离子,因此可以与6个铝离子发生反应,因此使用SF6作为辅助气体较现在常用的氮气能减少用量,并且氟的还原性比氮的还原性强,因此氟离子与铝离子发生反应的速度更快,因此使用SF6可以加快切割速度,并且在加快切割速度的同时能够避免蓝宝石镜片周边的毛刺产生。 | ||
搜索关键词: | 一种 高速 激光 蚀刻 蓝宝石 镜片 方法 | ||
【主权项】:
一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法,其特征在于包括如下步骤:1)将两面抛光的蓝宝石片固定在夹具上,将夹具装设于皮秒激光器的工作台上;2)夹具由上下料系统送至加工处定位,此时通入辅助气体SF6,加工处的加工头对蓝宝石片进行切割,控制系统控制加工头切割轨迹;3)上下料系统将切割完后的夹具送至清洗包装,将夹具中的蓝宝石镜片和余料分开。
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