[发明专利]一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法

权利要求书

1.一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法，其特征在于包括如下步骤：

1）将两面抛光的蓝宝石片固定在夹具上,将夹具装设于皮秒激光器的工作台上；

2）夹具由上下料系统送至加工处定位，此时通入辅助气体SF₆，加工处的加工头对蓝宝石片进行切割，控制系统控制加工头切割轨迹；

3）上下料系统将切割完后的夹具送至清洗包装，将夹具中的蓝宝石镜片和余料分开。

2.根据权利要求1中所述一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法，其特征在于：所述步骤1）中蓝宝石片为圆形或者矩形，皮秒激光器的功率为60-85W。

3.根据权利要求1中所述一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法，其特征在于：所述步骤2）中加工处定位对蓝宝石片定位分割位置，在蓝宝石片上切割出蓝宝石镜片，所述蓝宝石镜片在蓝宝石片上均匀分布排列。

4.根据权利要求1中所述一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法，其特征在于：所述步骤2）中加工头为单头或者双头，所述加工头的加工轨迹为沿着蓝宝石镜片的形状和排列依次间断切割。

5.根据权利要求1中所述一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法，其特征在于：所述步骤2）中SF₆的进气速度为200-300sccm，所述皮秒激光器开关延时100-150us，跳转延时150-250us。