[发明专利]一种用于WAT检测机的探针结构有效
| 申请号： | 201611103702.8 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN106783656B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 黄炜;张晓敏;舒晶;徐静静 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 11212 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨立<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于WAT检测机的探针结构，包括压电陶瓷弯曲致动片，所述压电陶瓷弯曲致动片一端设置有探针，另一端设置在固定支架上；所述压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接。本发明的有益效果是：用压电陶瓷弯曲致动片带动探针向下移动替代现有技术中微位移机构在电机作用下驱动晶圆盘向上移动；有效避免了微位移机构装配复杂，运动效率低，易磨损，且维修复杂的问题；且探针移动，移动负载小，有效提高探针与晶圆上待检测触点的接触精度，提高测试性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 wat 检测 探针 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于WAT检测机的探针结构，其特征在于，包括压电陶瓷弯曲致动片(1)，所述压电陶瓷弯曲致动片(1)一端设置有探针(2)，另一端设置在固定支架(3)上；所述压电陶瓷弯曲致动片(1)的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接；/n所述固定支架(3)包括固定板(31)和连接板(32)；所述连接板(32)一端与所述固定板(31)连接，另一端与位于其上方的第一固定盖板(33)相配合夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片(1)；所述连接板(32)上开设有与所述正负接线处的焊点相匹配的凹槽(321)；/n所述固定板(31)、连接板(32)和第一固定盖板(33)的材质均为铝合金；所述连接板(32)和第一固定盖板(33)与所述压电陶瓷弯曲致动片(1)相接触的接触面上均设置有隔离胶。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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