[发明专利]一种用于WAT检测机的探针结构

说明书

本发明涉及一种用于WAT检测机的探针结构，包括压电陶瓷弯曲致动片，所述压电陶瓷弯曲致动片一端设置有探针，另一端设置在固定支架上；所述压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接。本发明的有益效果是：用压电陶瓷弯曲致动片带动探针向下移动替代现有技术中微位移机构在电机作用下驱动晶圆盘向上移动；有效避免了微位移机构装配复杂，运动效率低，易磨损，且维修复杂的问题；且探针移动，移动负载小，有效提高探针与晶圆上待检测触点的接触精度，提高测试性能。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种用于WAT(晶圆验收测试)检测机的探针结构。

背景技术

现有WAT检测机的主流方案是：探针固定，当晶圆上待检测触点与探针在竖直方向对齐时，微位移机构在电机的作用下驱动晶圆盘垂直向上微运动，以实现探针与晶圆上待检测触点的接触，完成检测；此微位移机构有的采用丝杠导轨，有的采用凸轮，其装配复杂，运动效率低，易磨损，且维修复杂。

发明内容

本发明目的是提供一种用于WAT检测机的探针结构，解决现有技术中存在的上述问题。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：

一种用于WAT检测机的探针结构，包括压电陶瓷弯曲致动片，所述压电陶瓷弯曲致动片一端设置有探针，另一端设置在固定支架上；所述压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处通过导线与电源电连接，所述电源与控制器电连接。

本发明的有益效果是：当晶圆上待检测触点与探针在竖直方向对齐时，控制器驱动电源给压电陶瓷弯曲致动片施加电压，压电陶瓷弯曲致动片在电压的驱动下向下弯曲，带动探针向下移动，以实现探针与晶圆上待检测触点接触，完成检测；用压电陶瓷弯曲致动片带动探针向下移动替代现有技术中微位移机构在电机作用下驱动晶圆盘向上移动；有效避免了微位移机构装配复杂，运动效率低，易磨损，且维修复杂的问题；且探针移动，移动负载小，有效提高探针与晶圆上待检测触点的接触精度，提高测试性能。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，所述固定支架包括固定板和连接板；所述连接板一端与所述固定板连接，另一端与位于其上方的第一固定盖板相配合夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片；所述连接板上开设有与所述正负接线处的焊点相匹配的凹槽。

采用上述进一步方案的有益效果是，连接板上开设有凹槽，压电陶瓷弯曲致动片的正负接线处的焊点位于凹槽内，便于连接板与第一固定盖板相配合夹紧压电陶瓷弯曲致动片；且防止当连接板为金属材质时，与焊点接触导电；防止焊点裸露在外，受外界环境损伤。

进一步，所述连接板与所述第一固定盖板通过螺钉连接夹紧所述压电陶瓷弯曲致动片。

采用上述进一步方案的有益效果是，可通过调节螺钉改变连接板与第一固定盖板之间的距离，实现对压电陶瓷弯曲致动片夹紧的同时，不会损伤压电陶瓷弯曲致动片。

进一步，所述固定板、连接板和第一固定盖板的材质均为铝合金；所述连接板和第一固定盖板与所述压电陶瓷弯曲致动片相接触的接触面上均设置有隔离胶。

采用上述进一步方案的有益效果是，铝合金质轻且不易变形，保证探针与晶圆上待检测触点的接触精度；隔离胶防止铝合金材质的连接板和第一固盖板损伤压电陶瓷弯曲致动片，或与压电陶瓷弯曲致动片接触导电。

进一步，所述固定板为L型结构；所述固定板的一端与所述压电陶瓷弯曲致动片平行或共面，并与所述连接板固定连接；所述固定板的另一端与所述压电陶瓷弯曲致动片垂直设置，用于固定所述探针结构。

采用上述进一步方案的有益效果是，L型结构固定板利于探针结构的固定。

进一步，所述压电陶瓷弯曲致动片上设置有固定基板，所述固定基板与位于其上方的第二固定盖板相配合夹紧所述探针。