[发明专利]光罩散热装置及其工作方法有效
| 申请号： | 201611073836.X | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108121164B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 刘玄 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩散热装置及其工作方法，其中，所述散热装置包括：冷却器，所述冷却器包括：冷却区、入水区和出水区；位于所述冷却器的冷却区中的冷却管道孔，所述冷却区用于与光罩贴合；位于所述冷却器的入水区中的入水管道孔，所述入水管道孔用于使冷却液流入所述冷却管道孔；位于所述冷却器的出水区中的出水管道孔，所述出水管道孔用于使冷却液流出所述冷却管道孔。所述冷却器能够与光罩贴合，冷却液能够在所述冷却管道孔中流动，因此在光刻过程中冷却液可以带走所述光罩产生的热量，从而能够对所述光罩进行冷却，进而减少光罩的形变，增加套刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
一种光罩散热装置，其特征在于，包括：冷却器，所述冷却器包括：冷却区、入水区和出水区；位于所述冷却器的冷却区中的冷却管道孔，所述冷却区用于与光罩贴合；位于所述冷却器的入水区中的入水管道孔，所述入水管道孔用于使冷却液流入所述冷却管道孔；位于所述冷却器的出水区中的出水管道孔，所述出水管道孔用于使冷却液流出所述冷却管道孔。
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