[发明专利]光罩散热装置及其工作方法

权利要求书

1.一种光罩散热装置，其特征在于，包括：

冷却器，所述冷却器包括：冷却区、入水区和出水区；

位于所述冷却器的冷却区中的冷却管道孔，所述冷却区用于与光罩贴合；

位于所述冷却器的入水区中的入水管道孔，所述入水管道孔用于使冷却液流入所述冷却管道孔；

位于所述冷却器的出水区中的出水管道孔，所述出水管道孔用于使冷却液流出所述冷却管道孔；

所述冷却器的冷却区的形状为长方体，所述冷却区的冷却器包括相对的第一面、第二面以及位于所述第一面和第二面之间的侧面，所述第二面用于与所述光罩贴合；所述冷却管道孔的形状为长方体，所述冷却管道孔各侧壁分别与所述第一面、第二面和所述侧面平行；

所述冷却区包括第一冷却区和第二冷却区，所述第一冷却区和第二冷却区沿垂直于所述第一面的方向排列；所述冷却管道孔包括：位于所述第一冷却区内的第一冷却管道孔，位于所述第二冷却区内的第二冷却管道孔，所述第二冷却管道孔侧壁在所述第一面上的投影图形与第一冷却管道孔侧壁在所述第一面上的投影图形相邻且边缘重合，所述第一冷却管道孔在垂直于所述第一面方向上的尺寸等于所述第二冷却管道孔在垂直于所述第一面方向上的尺寸。

2.如权利要求1所述的光罩散热装置，其特征在于，所述冷却器的材料为石英玻璃。

3.如权利要求1所述的光罩散热装置，其特征在于，所述第一冷却管道孔的个数为一个或多个，所述第二冷却管道孔的个数为一个或多个。

4.如权利要求1所述的光罩散热装置，其特征在于，所述第一冷却管道孔的横截面的形状为正方形，所述第二冷却管道孔的横截面的形状为正方形，所述第一冷却管道孔的横截面的边长为3mm～5mm，所述第二冷却管道孔的横截面的边长为3mm～5mm。

5.如权利要求1所述的光罩散热装置，其特征在于，所述出水管道孔的横截面的形状为矩形或圆形，所述入水管道孔的横截面的形状为矩形或圆形。

6.如权利要求1所述的光罩散热装置，其特征在于，所述冷却器还包括：位于所述入水区与所述冷却区之间，以及所述出水区与所述冷却区之间的缓冲区，所述缓冲区的冷却器中具有缓冲管道孔。

7.如权利要求6所述的光罩散热装置，其特征在于，所述缓冲管道孔的总横截面积大于所述冷却管道孔的总横截面积，所述缓冲管道孔的总横截面积大于所述入水管道孔的总横截面积，所述缓冲管道孔的总横截面积为各缓冲管道孔的横截面积之和，所述冷却管道孔的总横截面积为各个冷却管道孔的横截面积之和，所述入水管道孔的总横截面积为各个入水管道孔的横截面积之和。

8.如权利要求1所述的光罩散热装置，其特征在于，还包括：固定管，所述固定管用于为所述冷却器提供冷却液；连接器，所述冷却器通过所述连接器与所述固定管连接。

9.如权利要求8所述的光罩散热装置，其特征在于，所述连接器用于沿所述固定管延伸方向运动。

10.如权利要求8所述的光罩散热装置，其特征在于，所述连接器包括：第一连接部，所述第一连接部与所述冷却器的入水区固定连接；第二连接部，所述第二连接部与所述固定管固定连接，所述第二连接部与所述第一连接部固定连接；

所述第二连接部中具有第一孔和第二孔，所述第一孔直径大于所述第二孔直径，所述第二孔和第一孔贯通，所述第二孔和第一孔贯穿所述第二连接部；

所述第一连接部包括：入水连接管和限位管，所述入水连接管与所述入水区冷却器固定连接，所述入水连接管贯穿所述第二孔；所述限位管与所述入水连接管连接，所述限位管和所述入水连接管中具有入水孔，所述入水孔贯穿所述限位管和所述入水连接管，所述入水孔与所述入水管道孔贯通，所述限位管位于所述第一孔中，所述限位管与所述第一孔侧壁接触。