[发明专利]确定半导体装置的可着色性的方法和实施所述方法的系统在审
| 申请号： | 201611058998.6 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106952902A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 郑众允;徐金厂;李宪信;李建毅;柯利升;杨稳儒 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/02 | 分类号： | H01L27/02;G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例揭示了一种确定半导体装置的可着色性的方法和实施所述方法的系统，所述方法包含迭代地分解冲突图以移除具有少于阈值数目的链路的链路的所有节点。所述方法还包含确定所述已分解的冲突图是否为简化图。所述方法还包含当所述已分解的冲突图并非简化图时使用专用处理装置分割所述已分解的冲突图。所述方法还包含当所述已分解的冲突图是简化图时基于用于图案化所述半导体装置的所述层的掩模的数目来确定所述已分解的冲突图是否可着色。所述方法还包含当所述已分解的冲突图不可着色时标记冲突。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 半导体 装置 着色 方法 实施 系统 | ||
【主权项】：
一种确定半导体装置的层的可着色性的方法，所述方法包括：迭代地分解冲突图以移除具有少于阈值数目的链路的链路的所有节点；当所述已分解的冲突图并非简化图时使用专用处理装置分割所述已分解的冲突图；当所述已分解的冲突图是简化图时基于用于图案化所述半导体装置的所述层的掩模的数目来确定所述已分解的冲突图是否可着色；及当所述已分解的冲突图不可着色时标记冲突。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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