[发明专利]具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备有效
申请号: | 201611035746.1 | 申请日: | 2016-11-23 |
公开(公告)号: | CN107045361B | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 吴信毅;骆建宏 | 申请(专利权)人: | 致茂电子股份有限公司 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人: | 刘淼 |
地址: | 中国台湾桃园市龟*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种双回路温度控制模块及具备该模块的电子元件测试设备,其中第一回路内流动有具有第一温度的第一工作流体,第二回路内流动有具有第二温度的第二工作流体,而控制器控制第一切换阀使第一工作流体或第二工作流体流经温度调控件,并控制第二切换阀使流经温度调控件的工作流体回流至第一回路或第二回路。借此,经工作流体升温或降温的温度调控件可调整热电致冷元件至两个不同的基准温度,而热电致冷元件更可基于所述基准温度来为待测元件提供更大温度差范围、且更精确的温度调控,以利进行高低温检测。 | ||
搜索关键词: | 回路 温度 控制 模块 具备 电子元件 测试 设备 | ||
【主权项】:
1.一种具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备,包括:‑第一回路,其内流动有具有第一温度的第一工作流体;‑第二回路,其内流动有具有第二温度的第二工作流体;‑温度调控件,其包括入口和出口;‑第一切换阀,其连通至该第一回路、该第二回路以及该温度调控件的入口;‑第二切换阀,其连通至该第一回路、该第二回路以及该温度调控件的出口;‑控制器,其电性连接至该第一切换阀和该第二切换阀;以及‑热电致冷元件,其电性连接至该控制器,并接触于该温度调控件;其中,该控制器控制该第一切换阀使该第一工作流体和该第二工作流体中的至少一者流经该温度调控件以对其进行温度调控,并控制该第二切换阀使流经该温度调控件的该第一工作流体和该第二工作流体中的至少一者回流至该第一回路和该第二回路中的至少一者;其中,该温度调控件为调整该热电致冷元件至基准温度,该控制器控制该热电致冷元件基于该基准温度以对待测元件进行温度调控。
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