[发明专利]具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备

权利要求书

1.一种具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，包括：

-第一回路，其内流动有具有第一温度的第一工作流体；

-第二回路，其内流动有具有第二温度的第二工作流体；

-温度调控件，其包括入口和出口；

-第一切换阀，其连通至该第一回路、该第二回路以及该温度调控件的入口；

-第二切换阀，其连通至该第一回路、该第二回路以及该温度调控件的出口；

-控制器，其电性连接至该第一切换阀和该第二切换阀；以及

-热电致冷元件，其电性连接至该控制器，并接触于该温度调控件；

其中，该控制器控制该第一切换阀使该第一工作流体和该第二工作流体中的至少一者流经该温度调控件以对其进行温度调控，并控制该第二切换阀使流经该温度调控件的该第一工作流体和该第二工作流体中的至少一者回流至该第一回路和该第二回路中的至少一者；

其中，该温度调控件为调整该热电致冷元件至基准温度，该控制器控制该热电致冷元件基于该基准温度以对待测元件进行温度调控。

2.如权利要求1所述的具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，其还包括冷却装置，该冷却装置设置于该第一回路并用于冷却该第一工作流体。

3.如权利要求2所述的具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，其中，该第一回路还包括第一流体供应源，其供应具有该第一温度的第一工作流体，该第一流体供应源包括第一供应口和第一回流口；该冷却装置设置于该第一流体供应源；该第一切换阀连通至该第一流体供应源的第一供应口，该第二切换阀连通至该第一流体供应源的第一回流口。

4.如权利要求1所述的具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，其还包括散热装置，该散热装置设置于该第二回路并用于对该第二工作流体进行散热。

5.如权利要求1所述的具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，其还包括加热装置，该加热装置设置于该第二回路并用于对该第二工作流体进行加热。

6.如权利要求5所述的具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，其中，该第二回路还包括第二流体供应源，其供应具有该第二温度的第二工作流体，该第二流体供应源包括第二供应口和第二回流口；该加热装置设置于该第二流体供应源；该第一切换阀连通至该第二流体供应源的第二供应口，该第二切换阀连通至该第二流体供应源的该第二回流口。

7.如权利要求1所述的具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，其还包括泵，该泵电性连接至该控制器，并设置于该第一切换阀与该温度调控件之间。

8.如权利要求1所述的具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，其还包括测试夹具，该测试夹具接触于该热电致冷元件，该待测元件装载于该测试夹具。

9.如权利要求8所述的具备双回路温度控制模块的电子元件测试设备，其还包括温度感测单元，该温度感测单元电性连接至该控制器，并用于测量该测试夹具的温度。