[发明专利]一种类金刚石碳基薄膜的制作方法在审
| 申请号： | 201611035397.3 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106435505A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 朱得菊;吴德生;卓少钟;陈立;覃祚峰;陈建才 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种类金刚石碳基薄膜的制作方法，包括：制作掺杂有预设元素的碳源部件；将所述碳源部件放入溅射腔体内；通入电离气体和氢气并密封，并调节所述电离气体和氢气的比例以及溅射功率和溅射速率；在基材的表面沉积掺杂有所述预设元素的类金刚石碳基薄膜。本申请提供的上述类金刚石碳基薄膜的制作方法，能够改善DLC薄膜在潮湿环境下的摩擦学性能和环境敏感性，将表面水滴角从70°提升至90°以上。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 薄膜 制作方法 | ||
【主权项】：
一种类金刚石碳基薄膜的制作方法，其特征在于，包括：制作掺杂有预设元素的碳源部件；将所述碳源部件放入溅射腔体内；通入电离气体和氢气并密封，并调节所述电离气体和氢气的比例以及溅射功率和溅射速率；在基材的表面沉积掺杂有所述预设元素的类金刚石碳基薄膜。
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