[发明专利]鳍式场效晶体管装置在审
| 申请号： | 201611024466.0 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106992211A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 张哲诚;林志翰;曾鸿辉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种鳍式场效晶体管装置包括衬底、堆叠结构、源极与漏极区、侧壁绝缘体以及金属连接件。包括有栅极堆叠的堆叠结构配置于衬底上。源极与漏极区配置于堆叠结构旁。侧壁绝缘体配置于源极与漏极区上。侧壁绝缘体包括底部与上部。底部与上部之间形成界面，且底部位在上部以及源极与漏极区之间。金属连接件堆叠于源极与漏极区上且侧壁绝缘体位在金属连接件与堆叠结构之间。 | ||
| 搜索关键词： | 鳍式场效 晶体管 装置 | ||
【主权项】：
一种鳍式场效晶体管装置，其特征在于，包括：衬底；堆叠结构，包括栅极堆叠，且配置于所述衬底上；源极与漏极区，配置于所述堆叠结构旁；侧壁绝缘体，配置于所述源极与漏极区上，其中所述侧壁绝缘体包括底部与上部，所述底部与所述上部之间形成界面，且所述底部位于所述上部以及所述源极与漏极区之间；以及金属连接件，堆叠于所述源极与漏极区上，其中所述侧壁绝缘体位在所述金属连接件与所述堆叠结构之间。
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