[发明专利]基于修补机台的玻璃基板补刻号方法在审
申请号: | 201610986237.0 | 申请日: | 2016-11-09 |
公开(公告)号: | CN108062009A | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 梁泽超 | 申请(专利权)人: | 梁泽超 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266700 山东省青岛市平度市白*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法,所述方法包括如下步骤:步骤1、提供修补机台、及数字微镜芯片,所述修补机台包括本体、承载面板、控制单元存储单元、及激光头;步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上,并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接;步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上,该玻璃基板上形成有光阻层;步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件,并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片,数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形;步骤5、激光头发出激光,该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上,对玻璃基板上光阻层进行曝光。 | ||
搜索关键词: | 基于 修补 机台 玻璃 基板补刻号 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供修补机台、及数字微镜芯片,所述修补机台包括本体、设于本体上的承载面板、设于本体上的控制单元、电性连接于该控制单元的存储单元、及设于本体上且位于该承载面板上方的激光头,该激光头电性连接该控制单元,所述存储单元用于存储样式图形文件;步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上,并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接;步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上,该玻璃基板上形成有光阻层;步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件,并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片,数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形;步骤5、激光头发出激光,该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上,对玻璃基板上光阻层进行曝光。
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