[发明专利]基于修补机台的玻璃基板补刻号方法

说明书

本发明提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，所述方法包括如下步骤：步骤1、提供修补机台、及数字微镜芯片，所述修补机台包括本体、承载面板、控制单元存储单元、及激光头；步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上，并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接；步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上，该玻璃基板上形成有光阻层；步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件，并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片，数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形；步骤5、激光头发出激光，该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上，对玻璃基板上光阻层进行曝光。

技术领域

本发明涉及玻璃基板制程领域，尤其涉及一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法。

背景技术

玻璃基板制程中的黄光制程一般包括涂光阻胶、曝光、显影、及检测四个步骤，玻璃基板刻号(GlassID)就是在黄光制程中进行的，完成刻号操作的同批次且同规格的玻璃基板都具有相同的刻号，从而区分于不同批次或不同规格的玻璃基板，避免造成混乱。

在黄光制程中，玻璃基板刻号是由刻号机来完成的，当刻号机出现故障时，可能造成一些玻璃基板没有刻号、或刻号不完整，这些没有刻号、或刻号不完整的玻璃基板需要进行补刻号制程。现有的补刻号制程为，将该些没有刻号、或刻号不完整的玻璃基板运送到分批机(Changer)进行分批，然后将缺少刻号的玻璃基板运送至其他黄光制程线进行单独重新刻号。

然而，这种现有的补刻号制程花费时间较长，同时还容易造成不同批次的玻璃基板混料。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，其能够对在黄光制程中未能刻号的玻璃基板进行在线修补，从而减少补刻号制程时间，同时避免不同批次玻璃基板的混料。

本发明的另一目的在于提供一种玻璃基板补刻号装置，其结构简单，易操作，有利于简化补刻号制程。

为实现上述目的，本发明提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，包括如下步骤：

步骤1、提供修补机台、及数字微镜芯片，所述修补机台包括本体、设于本体上的承载面板、设于本体上的控制单元、电性连接于该控制单元的存储单元、及设于本体上且位于该承载面板上方的激光头，该激光头电性连接该控制单元，所述存储单元用于存储样式图形文件；

步骤2、将数字微镜芯片安装于激光头上，并使数字微镜芯片与所述控制单元电性连接；

步骤3、将待刻号的玻璃基板放置于承载面板上，该玻璃基板上形成有光阻层；

步骤4、控制单元调用存储单元中对应的样式图形文件，并将该样式图形文件中的样式图形信号发送至数字微镜芯片，数字微镜芯片根据该样式图形信号显示该样式图形；

步骤5、激光头发出激光，该激光经由数字微镜芯片照射于玻璃基板上，对玻璃基板上光阻层进行曝光。

步骤6、将玻璃基板从承载面板上取下，进行显影、蚀刻制程。

本发明的有益效果：本发明基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，通过在修补机台的激光头上设置数字微镜芯片，使得修补机台具有激光修补成像功能，从而实现玻璃基板刻号的在线修复，避免了玻璃基板运送到其他黄光制程线上进行单独重新刻号的麻烦，也避免了玻璃基板在分批过程中可能出现的混料状况；本发明玻璃基板补刻号装置，结构简单，易操作，有利于简化补刻号制程。

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细具体实施方式

本发明的目的在于提供一种基于修补机台的玻璃基板补刻号方法，其能够对在黄光制程中未能刻号的玻璃基板进行在线修补，从而减少补刻号制程时间，同时避免不同批次玻璃基板的混料。