[发明专利]一种应力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种应力传感器，包括引线组件和沉积于被测结构件上的过渡层，所述过渡层上依次沉积有绝缘层、应变薄膜层、焊盘和保护层，所述焊盘与所述引线组件相连。本发明的应力传感器具有结构简单、连接可靠、应力测量精准可靠等优点。本发明还公开了一种基于如上所述的应力传感器的制备方法，步骤为S01、开始，在置于真空镀膜腔体中且清洗干净的被测结构件上安装掩膜，并依次沉积过渡层和绝缘层；S02、更换掩膜，在所述绝缘层上沉积应变薄膜层；S03、更换掩膜，在所述应变薄膜层上制备焊盘；S04、更换掩膜，在所述应变薄膜层上沉积保护层；S05、整体热处理；S06、将焊盘与引线组件相连，制备完成。本发明的制备方法具有操作简便、易于实现等优点。

主权项

一种应力传感器，其特征在于，包括引线组件（7）和沉积于被测结构件（1）上的过渡层（2），所述过渡层（2）上依次沉积有绝缘层（3）、应变薄膜层（4）、焊盘（5）和保护层（6），所述焊盘（5）与所述引线组件（7）相连。