[发明专利]具有内部微通道热沉模块的冷却装置

摘要

本发明公开了一种具有内部微通道热沉模块的冷却装置，属于应用功率开关器件冷却的热沉设备领域。冷却装置包括热沉模块、置于热沉模块上端的密封板、置于热沉模块下端的芯片，热沉模块包含若干条平行布置的内部微通道，每条内部微通道中包含若干个沿内部微通道中心线对称分布的凹槽，每相邻两个凹槽之间有垂直平面过渡，凹槽的横截面为沿内部微通道中心线对称分布的直角梯形；内部微通道的内部微通道入口连接着工质分布槽，内部微通道的内部微通道出口连接有工质收集槽。

主权项

一种具有内部微通道热沉模块的冷却装置，包括热沉模块(4)、置于热沉模块(4)上端的密封板(3)、置于热沉模块(4)下端的芯片(5)，其特征在于：所述热沉模块(4)包含若干条平行布置的内部微通道(4.1)，每条内部微通道(4.1)中包含若干个沿内部微通道(4.1)中心线对称分布的凹槽(4.2)，每相邻两个凹槽(4.2)之间有垂直平面(4.5)过渡，所述凹槽(4.2)的横截面为沿内部微通道(4.1)中心线对称分布的直角梯形；所述内部微通道(4.1)的内部微通道入口(4.3)连接着工质分布槽(6)，所述内部微通道(4.1)的内部微通道出口(4.4)连接有工质收集槽(7)。