[发明专利]具有内部微通道热沉模块的冷却装置

权利要求书

1.一种具有内部微通道热沉模块的冷却装置，包括热沉模块(4)、置于热沉模块(4)上端的密封板(3)、置于热沉模块(4)下端的芯片(5)，其特征在于：所述热沉模块(4)包含若干条平行布置的内部微通道(4.1)，每条内部微通道(4.1)中包含若干个沿内部微通道(4.1)中心线对称分布的凹槽(4.2)，每相邻两个凹槽(4.2)之间有垂直平面(4.5)过渡，所述凹槽(4.2)的横截面为沿内部微通道(4.1)中心线对称分布的直角梯形；所述内部微通道(4.1)的内部微通道入口(4.3)连接着工质分布槽(6)，所述内部微通道(4.1)的内部微通道出口(4.4)连接有工质收集槽(7)。

2.根据权利要求1所述的具有内部微通道热沉模块的冷却装置，其特征在于：所述工质分布槽(6)与内部微通道入口(4.3)相对应的侧面上分布有若干个与内部微通道入口(4.3)相对应的工质分布槽孔(6.1)，所述工质分布槽(6)的上端面的中心位置设有工质入口(6.2)，所述工质入口(6.2)与密封板(3)上设置的工质导入管(1)保持内部相通，且工质导入管(1)与工质入口(6.2)在竖直方向的位置对应，所述工质入口(6.2)与工质分布槽孔(6.1)也保持内部相通。

3.根据权利要求1所述的具有内部微通道热沉模块的冷却装置，其特征在于：所述工质收集槽(7)与内部微通道出口(4.4)相对应的侧面上分布有若干个与内部微通道出口(4.4)相对应的工质收集槽孔(7.1)，所述工质收集槽(7)的上端面的中心位置设有工质出口(7.2)，所述工质出口(7.2)与密封板(3)上设置的工质导出管(2)保持内部相通，且工质导出管(2)与工质出口(7.2)在竖直方向的位置对应，所述工质入口(6.2)与工质分布槽孔(6.1)也保持内部相通。

4.根据权利要求1所述的具有内部微通道热沉模块的冷却装置，其特征在于：所述内部微通道入口(4.3)和内部微通道出口(4.4)均为矩形，且内部微通道入口(4.3)和内部微通道出口(4.4)的宽度为0.05～0.15mm。

5.根据权利要求1所述的具有内部微通道热沉模块的冷却装置，其特征在于：所述凹槽(4.2)的深度为0.15～0.3mm，且凹槽(4.2)的宽度大于内部微通道入口(4.3)和内部微通道出口(4.4)的宽度。

6.根据权利要求1所述的具有内部微通道热沉模块的冷却装置，其特征在于：所述直角梯形的倾角为45°，直角梯形的高度为0.03～0.07mm，直角梯形的短边长度为0.5～1.5mm。