[发明专利]一种硅锭和多晶硅片的制备方法、以及由其制备的硅锭和多晶硅片有效
申请号: | 201610913211.3 | 申请日: | 2016-10-19 |
公开(公告)号: | CN107059117B | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 唐骏;袁聪;常传波;杨振帮 | 申请(专利权)人: | 扬州荣德新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 11225 北京金信知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张皓;王智<国际申请>=<国际公布>=< |
地址: | 225131 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种硅锭和多晶硅片的制备方法,该方法包括以下步骤:将硅料、硼硅合金、磷硅合金和金属镓按照硅:硼:磷:镓以摩尔比为1:(1.1×10‑5至1.3×10‑5):(6.9×10‑6至8.3×10‑6):(4.2×10‑7至5.0×10‑7)的比例混合;将混合后的物料放置在具有下隔热笼的多晶炉中,在1450‑1550℃下加热10‑30小时使物料融化;打开下隔热笼,在1400‑1440℃下使混合物料定向凝固;在1350‑1390℃下退火2‑4小时;以0.1‑10℃/min的速度冷却降温以得到从底部到顶部电阻率分布一致的硅锭;经过开方、切片后得到电阻率分布更加一致,少子寿命更高的多晶硅片。根据本发明的方法制备的硅锭和多晶硅片的电阻率分布更加均匀,少子寿命更长,因此,由其制备的太阳能电池的效率更高。 | ||
搜索关键词: | 电阻率分布 多晶硅片 硅锭 制备 少子寿命 下隔热笼 合金 退火 小时使物料 太阳能电池 定向凝固 混合物料 速度冷却 物料放置 开方 多晶炉 金属镓 摩尔比 切片 硅料 磷硅 硼硅 加热 融化 | ||
【主权项】:
1.一种硅锭的制备方法,该方法包括以下步骤:/n步骤1:将硅料、硼硅合金、磷硅合金和金属镓按照硅:硼:磷:镓的摩尔比为1:(1.18×10-5至1.22×10-5):(7.5×10-6至7.7×10-6):(4.5×10-7至4.7×10-7)的比例混合;/n步骤2:将混合后的物料放置在具有下隔热笼的多晶炉中,在1450-1550℃下加热10-30小时使物料融化;/n步骤3:打开下隔热笼,在1400-1440℃下使混合物料定向凝固;/n步骤4:在1365-1375℃下退火2.5-3.5小时;/n步骤5:以1-3℃/min的速度冷却降温以得到从底部到顶部电阻率分布一致的硅锭。/n
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